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QuickPRO-3D--表面輪廓儀

簡要描述:適用于光學、工業(yè)和半導體市場的高速、中精度、經(jīng)濟實惠的表面輪廓儀,納米分辨率彩色共聚焦傳感器(可配制點和線傳感器),為在線過程測量和控制而設計,結(jié)構(gòu)緊湊,易于上下片和操作,可配制成獨立系統(tǒng)(X/Y/Z) 和附加升級至LAS (C/R/Z),多種樣品處理能力

  • 產(chǎn)品型號:
  • 廠商性質(zhì):代理商
  • 產(chǎn)品資料:
  • 更新時間:2024-03-19
  • 訪  問  量: 1075

詳細介紹

•適用于光學、工業(yè)和半導體市場的高速、中精度、經(jīng)濟實惠的表面輪廓儀

•納米分辨率彩色共聚焦傳感器(可配制點和線傳感器)

•為在線過程測量和控制而設計

•結(jié)構(gòu)緊湊,易于上下片和操作

•可配制成獨立系統(tǒng)(X/Y/Z) 和附加升級至LAS (C/R/Z)

•多種樣品處理能力

–單一數(shù)控加工的非球面透鏡( ?可達100mm)

–托盤中的小型模塑透鏡

–自由曲面光學器件(無旋轉(zhuǎn)對稱) 半導體,MEMs,LED,OLED,光子晶圓


特點:

•可在納米分辨率下測量大的臺階高度(>1mm)

•適用于較大和較重的零件、不規(guī)則幾何形狀


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